半導体製造プロセス用薬液 (洗浄液) EcoPeeler

KISCOグループが開発した半導体製造プロセス用薬液“EcoPeeler” は、水系ポリマー除去剤の先駆的薬液です。長年、積み上げてきた様々なコア技術からなる機能を組み合わせることで、半導体製造プロセスにおいて、キーとなる洗浄プロセスにベストのソリューションをご提案します。

特長

EcoPeelerは、人にも地球環境にも負荷が少ない唯一の薬液です。

  • 高い機能性を付与
  • 安全で取扱いが容易
  • CO2の排出量が非常に少ない(設備的負荷、廃液処理の負荷が少ない)

EcoPeeler のアプリケーション

プロセス具体例
BEOL cleaning
Special cleaning: FEOL洗浄
Special wet etching

〒103-8410
東京都中央区日本橋本町四丁目11番2号
第三営業本部 半導体材料部
半導体ケミカル課
TEL:03-3663-0276
FAX:03-3661-0037

事業情報

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