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diXコーティングプロセス

diXコーティングを行う際は真空ポンプで装置系内を約1-4Paの減圧状態にした上で、気化炉中に入れてあるdiXダイマーを100-180℃の温度に加熱し昇華させます。そして600-700℃の分解炉管内を通過することで、diXダイマーをモノマーガスに変え、蒸着室で高分子重合することで、diXフィルムを形成します。チラートラップはチャンバーでdiXフィルムにならなかった成分が真空ポンプへ行かないようにする為、-80～-90℃の温度でトラップをかけています。コーティング中の蒸着室内温度は室温程度で、熱に弱い製品に対してもコーティング可能です。

製品の形状やコーティングの目的に応じてバレル方式やターンテーブル方式等のコーティング方法を選択することが可能であり、多種多様な製品ニーズに応えることが出来ます。

各種ダイマーの選定

一般的な用途にはdiX Cによるコーティングを推奨しますが、diX Cでは耐熱性が得られない場合にはdiX HR、diX SR等を、また300℃以上の耐熱特性が要求される場合にはdiX SF、diX CFをご提案することが可能です。また環境問題等の視点からハロゲンフリーを望まれるのであれば、diX N、diX NRを選択するなど、目的に応じたダイマー選択が可能です。

成膜特徴

各種diXダイマーの中でもdiX Cが最もコーティング速度が速く、diX NやdiX SF等はコーティング速度が遅い傾向にあります。これは昇華したダイマーが分解炉を通過し、モノマーガス状態に変化した際の蒸着室での重合速度が異なるためで、一般的にはdiX D>diX C≒diX SR≒diX HR>diX N≒diX NR≒diX SF≒diX CFの順であり、各種ダイマーによって最適な温度・圧力パラメーターが存在します。我々は長年の経験を生かし、各種ダイマー毎に合わせた条件設定を行うことで、安定した成膜を行うことが出来ます。

成膜速度

密着性向上技術を高めるためのポイント

カップリング処理が可能
シラン系、その他のカップリング剤を用いて密着性を高めます。
プラズマ処理
化学的手法では効果が得られない、出来ない場合にはプラズマ処理が効果的です。
その他
酸処理、ブラスト処理など、製品に応じた処理方法にも対応できます。
もちろんマスキング技術によって不要な箇所へのコーティングを防ぐことも出来ます。

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