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diXコーティング装置
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KISCOグループでは研究用のラボコーティング装置から大量生産用のコーティング装置まで、幅広い品揃えをしています。コーティング装置はKISCOグループの第三化成が製造するdiXダイマーをCVT(化学蒸着プロセス)を用いてコンフォーマルにコーティングする装置です。コントロールプログラムを装置本体内に内臓することにより、コーティングプロセスの全自動化を実現 しています。
装置概要
この装置は第三化成株式会社製造のdiXをCVD(化学蒸着プロセス)を用いてコンフォーマルにコーティングする装置です。装置は気化・分解炉、蒸着チャンバー、チラーユニット、真空ポンプの4つから構成されております。コーティングは減圧下で行われ、コーティング原料であるdiXを気化室にて気化します。次に分解炉で650~700℃の加熱によりdiXが熱分解されモノマーになります。 このモノマーが蒸着チャンバー内で被着体に接触すると、その界面でモノマーが重合し、高分子量ポリパラキシリレン膜が形成されます。
■DACS-LAB

仕様・スペック
メインユニット
用力:200V3相4.0KVA
寸法:800(W)×505(D)×590(H)
・気化室
寸法:20A×L210
チャンバー真空度より気化室温度を
フィードバック制御
・
分解炉
分解炉管寸法:20A×L550
ヒーター:ID50×OD250×L500
蒸着チャンバー
・縦型チャンバー
型番:LAB-V
寸法:ID300×H350
回転:0.5~10rpm
・横型チャンバー
型番:LAB-H
寸法:ID208×H425
回転:0.1~10rpm
タンブラー寸法:ID160×L300 |
チラーユニット
トラップ本体寸法:100A×L360
ハンディークーラー(トーマス科学)※オプション
寸法:W430×D530×H770mm
能力:-75~-85℃
真空ポンプ
型番:日本酸素製W2V40
能力:333L/min(50/60Hz)6.7×10-2Pa
付属品:電磁バルブ、ビラニー真空計、オイルミストトラップ |
■DACS-LAB VS

仕様・スペック
メインユニット
用力:200V3相5.0KVA
寸法:1655(W)×500(D)×1000(H)
・気化室
寸法:φ60A×L210
チャンバー真空度より気化室温度を
フィードバック制御
・分解炉
寸法:25A×L600
蒸着チャンバー
・縦型チャンバー
型番:LAB-VS
寸法:ID300×H312
・横型チャンバー
型番LAB-HS
寸法:ID208×H425
タンブラー寸法:ID160×L300
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チラーユニット
寸法:25A×L600
真空ポンプ
能力: 排気速度 670/800 L/min(50/60Hz)
到達圧力 6.7×10-1Pa
付属品: 電磁バルブ、ビラニー真空計
オプション: オイルミストトラップ |
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