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市場／実施例
ナノ粒子の製造（超臨界晶析）
医薬品・化粧品・食品、エネルギー関連、ナノテクなど
未処理薬剤
超臨界晶析
（ナノ粒子化）
ナノ粒子薬剤
微粒子の凝集レス乾燥
医薬品・化粧品・食品、エネルギー関連、先端電子材料、ナノテクなど
微粒子分散溶液
乾燥
濾過乾燥：凝集、固化
超臨界乾燥：凝集のない粒子
微粒子の均一混合・分散
先端電子材料、エネルギー関連、ナノテクなど
カーボン粒子とPTFE粒子の混合
混合・分散
機械混合：
凝集した一次粒子のまま
超臨界混合：均一に混合
微細構造体のダメージレス乾燥
先端電子材料、エネルギー関連、ナノテクなど
微細レジストパターン
IPA乾燥
超臨界乾燥
微細構造体の乾燥
IPA乾燥
超臨界乾燥
〒103-8410
東京都中央区日本橋本町四丁目11番2号
第三営業本部 半導体材料部 開発課
TEL：03-3663-0276
FAX：03-3661-0037
